[인더스트리뉴스 박현우 기자] 이차전지 및 반도체 비전 검사 전문기업 아이비젼웍스가 유리기판의 미세 결함을 정밀하게 검출할 수 있는 광학 검사 기술에 대해 특허를 출원했다고 22일 밝혔다.

이번 특허는 멀티 투영 광학계를 적용한 유사 3D 검사 방식으로 유리기판의 비아홀, 크랙, 스크래치, 이물질, 얼룩 등 다양한 결함을 비파괴 방식으로 검사할 수 있는 기술이다.

아이비젼웍스는 해당 기술을 2023년부터 개발해 왔으며, 이를 기반으로 글라스 기판 및 반도체 검사 시스템 시장 진입을 본격화할 계획이다.

현재 유리기판 제조 관련 기업들은 양산 단계 진입을 앞두고 검사 시스템 도입을 적극적으로 검토 중이며, 아이비젼웍스는 검사 장비 업체들과 접촉을 이어가고 있다.

아이비젼웍스 관계자는 “유리기판 검사 기술에 대한 선행 특허 조사 결과, 동일하거나 유사한 기술은 확인되지 않았다. AI 반도체용 메인 글라스 기판 및 글라스 인터포저 검사 시스템을 목표로 하고 있다"며, "LASER 가공부터 Via 도금 공정까지 전 공정에 대한 검사 기술을 확보할 계획”이라고 전했다.

이어 "TGV 마이크로 크랙 검사 시스템을 위한 광학계 시뮬레이션도 완료했으며, 해당 기술에 대한 특허 출원도 준비 중”이라고 덧붙였다.

한편, 시장조사기관 Global Market Insights에 따르면, 글로벌 유리기판 시장은 2024년 기준 약 72억달러(약 9조9000억원) 규모로 평가된다.

특히 AI 반도체, 디스플레이, 태양광 등 첨단 산업의 수요 증가가 시장 성장을 견인하고 있으며, 2034년에는 약 103억달러(약 14조1000억원) 규모로 확대될 전망이다. 아시아 태평양 지역이 한국, 중국, 일본을 중심으로 기술력과 생산 인프라에서 우위를 점하고 있다.

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