[인더스트리뉴스 김관모 기자] 소형 스테이지는 제한적인 작업 공간에서 포지셔닝 작업을 할 때 필수적이다. Q-Motion, PILine, PiezoWalk와 같은 피에조 모터 솔루션은 다이렉트 드라이브 방식이므로 크기를 작게 만들 수 있다. PI 코리아(PI Korea)는 피에조 모터 외에도 DC & Stepper 모터, 리니어 모터 등의 소형 스테이지를 제공하고 있다고 밝혔다.

Q-Motion Miniature Linear Stage

먼저 Q-Motion은 피에조 소자에 의해 생성된 드라이브 요소와 러너 사이에서 정마찰과 미끄럼 마찰이 번갈아 일어나는 ‘스틱 슬립 효과’를 활용한다. 이때 발생하는 작동 주파수는 20kHz를 넘으며, 러너를 5mm/s 이상의 속도로 이동시킨다.

Q-Motion은 톱니파 전압이 제어하는 단일 압전 액추에이터에 기초해 움직인다. 액추에이터의 느린 팽창으로 인해 러너가 움직일 때 발생하는 관성 때문에, 러너가 액추에이터의 빠른 수축을 따라잡지 못해 그 위치에 남게 된다.

Q-Motion의 장점은 나노미터 분해능, 자동 잠금 기능으로 인한 에너지 절약 및 발열 방지, 진공 호환 등이 있다.

L-402 DC/Stepper Motor

22.5mm 폭의 미니어처 스테이지로 이동 범위는 13mm이며 반복정밀도는 0.5μm이다. 크로스 롤러 가이드를 사용하여 높은 강성, 마찰 감소, 부드러운 주행이 가능하다.

XY, XYZ 조합으로 직접 마운팅할 수 있고 정밀 마이크로 어셈블리, 연구, 오토메이션, 진공 환경에 사용할 수 있다.

V-522 PIMag Linear Stage

V-522 보이스코일 모터는 자석과 코일로 구성되어 있으며 코일을 통해 전류가 흐르면 영구 자석의 자기장을 따라 움직인다. 마찰이 없는 구동 원리 덕분에 제한된 이동 범위에서 높은 역동성과 속도를 구현할 수 있다.

또한, 히스테리시스 영향을 받지 않으므로 높은 스캔 주파수와 정밀 위치 제어가 가능하다. 포토닉스, 반도체, 디스플레이 제조, 계측, 연구에 적합하다.

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