원격세정기 핵심 원천기술, 세계 시장 선도

[Industry News 박관희 기자] 내마모와 내식성을 갖춘 알루미늄 코팅층을 생성하는 신기술이 반도체와 항공우주 분야 등에서 활용될 전망이다. 한국과학기술연구원(이하 KIST)과 뉴파워프라즈마는 ‘플라즈마 전해 양극산화 코팅 기술’에 대한 기술이전 및 사업화 협력을 위한 총 기술료 10억원의 기술이전 조인식을 가졌다.

KIST 도정만 박사팀이 개발한 플라즈마 전해 양극산화(PEO : Plasma Electrolytic Oxidation) 코팅기술은 자체 개발한 전원공급장치, 전해액, 공정기술 및 플라즈마 아크 제어기술을 통해 알루미늄 합금 표면에 경질 코팅층(두께 50〜100㎛, 표면조도 1㎛, 경도 1500〜1100Hv)을 생성시킬 수 있는 원천기술이다.

특히 KIST에서 개발한 PEO 코팅기술은 친환경성 알카리 전해액을 사용하는 친환경 기술로서, 경량 합급인 알루미늄 표면에 치밀하고 밀착성이 우수한 알루미나(Al2O3) 코팅층을 실시간으로 생성시켜 내식ㆍ내마모ㆍ내침식성을 부여하는 기술이다. 또한, 반도체와 디스플레이, 항공우주와 군사용 등 첨단산업분야에 널리 적용 가능한 신기술로 평가된다.

이번 기술이전식을 통해 이전한 PEO 코팅기술은 차세대 반도체 및 디스플레이용 플라즈마 원격세정기의 핵심 원천기술로 전문업체인 뉴파워프라즈마가 원격세정기 업계 세계 시장을 선도하기 위한 필수적인 기술이다.

KIST는 이번 조인식을 통해서 세계적으로 급성장하는 디스플레이와 반도체 공정장비에 부합하는 신기술 개발과 함께 뉴파워프라즈마의 상용화 전략을 바탕으로 2018년 약 5,000억원 규모로 성장할 것으로 전망되는 플라즈마 원격세정기 시장에서의 사업화 성과를 창출해 나갈 예정이다.

KIST 이병권 원장은 “이번 기술이전을 통해 플라즈마 코팅기술의 상용화를 앞당기고, 세계 최고의 경쟁력을 갖고 있는 국내 반도체와 디스플레이 산업의 경쟁력을 더욱 공고히 할 수 있을 것으로 기대한다”고 말했다.

또한 뉴파워프라즈마의 위순임 대표이사는 “획기적인 KIST의 플라즈마 코팅기술을 이전받고 국내 반도체 디스플레이 장비 시장에서의 선두주자가 되기 위해 노력할 것이며, 나아가 글로벌 시장 진출에 앞장서도록 노력하겠다”고 밝혔다.

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